设想一个封闭的真空产品,其体积为1立方米,当内部压力以每秒1帕斯卡的速度上升时,我们观测到的泄漏流量即为1Pa·m³/s。在正常条件下,当外壁与内壁之间存在压力差时,例如25摄氏度时的空气会渗透到内部,若产品存在某种缺陷,相同的比率可用于确定工作气体的泄漏率。
密封性等级
确定泄漏的几何尺寸是一项极为复杂且通常无法完成的任务,因为泄漏通道的形状几乎总是不可预知的。在泄漏检测技术中,通过单位时间内流经泄漏的气体或液体量来判断泄漏的存在。
贯穿性泄漏的特点是在相等的时间间隔内压力变化保持恒定比率,直到最终稳定在大气压水平。通过这种方式,我们可以将测试对象中的实际渗漏与内表面脱气现象区分开来。如果产品中存在贯穿性缺陷,真空将以恒定速度持续恶化,直至达到大气压。如果产品中没有贯穿性缺陷,而是内表面存在主动脱气现象,那么真空将以不均匀的速度恶化:起初较快,随后稳定在未达到大气压的某个水平,我们不应排除一个控制对象中同时存在这两种情况的可能性。
在规定文件中,必须为气体、空气在正常条件下设定允许泄漏的阈值,压降为1个大气压。这使得我们不必局限于特定的泄漏测试方法,而是可以通过多种方法执行测试工作,例如氦质谱法:真空室法、探针法、吹气法以及测压法等。无论采用何种方法,只要缺陷保持不变,结果应当一致。
现代氦气检漏仪的阈值灵敏度可达5·10^-13par米³,这决定了其更大灵敏度和最小可检测泄漏。产品的密封性要求必须由开发人员确定,并在设计文档中以密封等级的形式指定,这些要求还可能包括特定的泄漏控制方法和系统。